轮廓仪测厚法又称触计法。它是采用镀前屏蔽或镀后溶解的方法,使基体的某一部位不存在镀层,于是基体和镀层之间形成一个台阶。当轮廓记录仪触针扫描通过这一台阶时,则可利用电气和探针的运动,确定台阶的高度(即镀层厚度)。这种方法可用来测量较宽范围的镀层厚度。对测量平面上从 0.01到1000μm的镀层。误差在±10%内。
轮廓记录仪有几种类型:电子触针式仪器,即表面分析仪和表面轮廓记录仪,通常用于测量表面粗糙度,也可用于记录台阶的轮廓;具有记录针的电子感应比较仪,结构比较简单,也可记录台阶的轮廓。
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