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1、 最小切削厚度对表面粗糙度的影响
除了机床本身的性能以外，使用刀具切削刃有效地切除工件材料时，最小切削厚度的可控性和重复性是影响加工精度的主要因素。MTC 不仅可以反映切削刃的纳米级微观结构，还可以反映出刀具和工件材料之间的相互作用状态。
2、振动对表面粗糙度的影响
尽管超精密车床具有很高的刚度，但振动仍然是影响表面粗糙度的主要因素之一。超精密机床通常都有很高的固有频率，在超精密加工过程中，实际的工艺系统是一个非常复杂的振动系统，系统中的振动使工件与刀具之间的相对位置发生了微幅变动，最终使工件表面粗糙度增大、表面质量降低。
3 、金属变形对表面粗糙度的影响
金属切削加工过程非常复杂，加工后形成的表面粗糙度/表面粗糙度仪与工件的材料、刀具的几何形状、润滑方法以及选用的切削深度密切相关。剪切、滑移和断裂被认为是影响切屑形成的几个主要因素。
4、刀具几何形状对表面粗糙度的影响
在切削过程中，刀具几何参数的不同组合形成不同的切削形态。直接影响切削过程的稳定性和表面质量。理想状态下，采用圆弧刃金刚石刀具进行超精密车削加工软金属时，在工件加工表面形成轮廓峰和轮廓谷，它们之间的距离，被称为理论粗糙度，其大小等于f2/8R。
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